Технологии нанообработки

6 июня, 2013 - 12:29

Технологии нанообработки : учеб. пособие / С. Н. Григорьев, А. А. Грибков, С. В. Алешин. – Старый Оскол : ТНТ, 2011. – 320 с.

Изложены основные методы наноизмерений, способы получения нанопорошков, поверхностных и объемных наноструктур. Представлены различные устройства нанопозиционирования и наноперемещения. Описываются методы и средства размерной нанообработки, обработки сканирующими зондами, нанолитографии. Изложены подходы к созданию молекулярных наномашин и других супрамолекулярных структур.